|
Λεπτομέρειες:
|
Εφαρμογή: | Γενικό | Υλικό: | ανοξείδωτο |
---|---|---|---|
Πίεση: | Υψηλή πίεση | Θερμοκρασία των μέσων: | Μέση θερμοκρασία, κανονική θερμοκρασία, χαμηλή θερμοκρασία |
MEDIA: | Αέριο, αέρας | Μέγεθος λιμένων: | πρότυπα |
Τυποποιημένος ή μεταβλητός: | πρότυπα | Εξουσιοδότηση: | 1 έτος |
Υψηλό φως: | Φίλτρο αερίου ανοξείδωτου CE PTFE,15L/ Ελάχιστο φίλτρο αερίου ανοξείδωτου,15Mpa φίλτρο υψηλού αερίου |
Φίλτρο αερίου
Το φίλτρο αερίου που χρησιμοποιείται στο σύστημα αερίου υψηλής αγνότητας είναι μια συσκευή για να φιλτραρίσει έξω τα μόρια στο αέριο σύμφωνα με το μηχανισμό σύγκρουσης, διάχυσης και παρεμπόδισης. Με την ανάπτυξη του ολοκληρωμένου κυκλώματος στο επίπεδο μεγαμπίτ, οι ακριβέστερες απαιτήσεις υποβάλλονται για εξαιρετικά καθαρό. Σύμφωνα με τα ημι πρότυπα, τα μόρια 2011lm στο άζωτο και το αργό 10011 βαθμού που παρέχονται από τη σωλήνωση είναι λιγότερο από 014 Λ Ο αριθμός μορίων > του 011lm στο αέριο 16mdram είναι λιγότερο από 1 Λ. Στο υπερβολικα υψηλός αέριο αγνότητας ή το ηλεκτρονικό σύστημα εφοδιασμού υγραερίου, προκειμένου να αφαιρεθούν τα μειωμένα μόρια που προκαλούνται από τη δόνηση ή τον αντίκτυπο ροών αέρος, τα φίλτρα πρέπει να εγκατασταθούν προς τα κάτω των βαλβίδων και των συναρμολογήσεων και πρίν χρησιμοποιούν το αέριο. Η επιλογή και η προδιαγραφή του φίλτρου μορίων εξαρτώνται από την προδιαγραφή ελέγχου αερίου. Το κοχύλι του φίλτρου αποτελείται από το ανοξείδωτο 316. Το στοιχείο φίλτρων έχει συμπυκνώσει το πορώδες στοιχείων φίλτρων μετάλλων αντιδιαβρωτικού και ανθεκτικού στη θερμότητα νικελίου βάσεων κράμα, κράμα νικελίου 100%, αργίλιο κεραμικό, Teflo |
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα προϊόντων
Ευρύ φάσμα των εφαρμογών, σειρά ροής από 15 σε 300SL/λ. Είναι συμβατό με τα περισσότερα αέρια διαδικασίας ημιαγωγών υψηλής αγνότητας. ικανότητα διήθησης 3 nanoparticle να διατηρηθεί η υψηλή αποδοτικότητα ροής, εξαιρετικά-μικρή πτώση πίεσης. 5Ra η επιφάνεια μπορεί να αποτρέψει την εσωτερική ρύπανση. Μετά από να καθαρίσει με το εξιοντισμένο νερό, ψήνεται με το καυτό άζωτο για να ανταποκριθεί στα πρότυπα διαδικασίας ημιαγωγών. Κατασκευαστικό εργαστηρίων ενός εκατομμυρίου χωρίς σκόνη αποστηρωμένος, καθαρίζοντας και συσκευάζοντας περιβάλλον. Διαρροή ηλίου δοκιμής 100%. |
Παράμετροι απόδοσης προϊόντων
Ακρίβεια διήθησης | ≥0.0025μm | |
αποδοτικότητα διήθησης | Αφαίρεση rate99.99999%≥0.0025μm | |
εκτιμημένη ροή | 15L/Min | |
60L/Min | ||
120/Min | ||
200Min | ||
300Min | ||
σύνθεση φίλτρων | Στοιχείο φίλτρων | 316/PTFE |
κοχύλι | ανοξείδωτο steel316L | |
συνθήκες εργασίας | μέγιστη πίεση κολπίσκων | 21Mpa (310kgf/cm2) |
μέγιστη διαφορική πίεση | MPA 15(153kgf/cm2) | |
μέγιστη θερμοκρασία εργασίας | 430℃ (αδρανές αέριο) | |
ποσοστό διαρροής ηλίου | 1x10-9atm cc/sec | |
η επιφάνεια τελειώνει | ≤Ra 5μm |
Η επιχείρησή μας
Το Cusomer μας
Συσκευασία & παράδοση
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Info
Τηλ.:: +8613430639757