Σύνοψη
Επικεντρωμένο στο κεντρικό θέμα της “Καινοτομίας στην Τεχνολογία Επίστρωσης κενού και Μηχανικής Επιφανειών,” το 7ο Συνέδριο Ανταλλαγής Τεχνολογίας κενού ξεκίνησε επίσημα σήμερα στο Shenzhen.
Με γνώμονα την βασική αρχή της “Άρσης των Τεχνικών Εμποδίων και της Προώθησης της Βιομηχανικής Συνέργειας,” αυτό το συνέδριο περιλαμβάνει συνεδρίες ανταλλαγής που επικεντρώνονται σε τρία βασικά θέματα: Εναπόθεση Ατομικών Στρώσεων (ALD), Εναπόθεση Χημικών Ατμών (CVD) και Επιστρώσεις με βάση τον άνθρακα DLC/Ta-C.
Συνδυάζοντας διεθνείς ειδικούς από την ακαδημαϊκή κοινότητα, τη βιομηχανία και ερευνητικά ιδρύματα, μαζί με τεχνικούς ηγέτες από κορυφαίες επιχειρήσεις, το συνέδριο θα εμβαθύνει στις τελευταίες ανακαλύψεις σε βασικές τεχνολογίες, τρόπους βιομηχανικής εφαρμογής και βασικές προκλήσεις της βιομηχανίας. Στόχος του είναι να δημιουργήσει μια ολοκληρωμένη πλατφόρμα για “τεχνική ανταλλαγή, αντιστοίχιση πόρων και μετασχηματισμό επιτευγμάτων,” δίνοντας τη δυνατότητα στην τεχνολογία κενού να επιτύχει βαθιά ενσωμάτωση και ευρεία εφαρμογή σε κρίσιμους τομείς όπως οι ημιαγωγοί, η νέα ενέργεια και τα προηγμένα υλικά.
1. ALD/CVD “Έλεγχος Ακριβείας” Λύνει το Παζλ
Η επιλογή βαλβίδων για συστήματα ALD/CVD απαιτεί όχι μόνο την εκπλήρωση βασικών προδιαγραφών, αλλά και την ευθυγράμμιση με τις λεπτομέρειες της διαδικασίας. Η επίτευξη μιας ανακάλυψης από το “αποδεκτό στο premium” στην επίστρωση κενού και τη μηχανική επιφανειών εξαρτάται από τον “έλεγχο ακριβείας μικρομέτρων” στις διαδικασίες ALD/CVD—όπου η ταχύτητα απόκρισης της βαλβίδας και η σταθερότητα του συστήματος ειδικού αερίου καθορίζουν άμεσα την ομοιομορφία της επίστρωσης, την καθαρότητα και τα ποσοστά απόδοσης.
ALD: “Έλεγχος Παλμού” και “Μηδενική Διαρροή”
Στις διαδικασίες επίστρωσης κενού, η απόδοση του εξοπλισμού ελέγχου ρευστού είναι κρίσιμη. Τα προϊόντα μας υπερέχουν στην ταχύτητα απόκρισης, το ρυθμό διαρροής και την αντοχή στη θερμοκρασία. Ο εξοπλισμός που διαθέτει σώμα βαλβίδας από ανοξείδωτο χάλυβα 316L EP-grade με στεγανοποιήσεις PTFE επιτυγχάνει ρυθμό διαρροής ≤1×10⁻¹² Pa·m³/s, πληρώντας τις απαιτήσεις της διαδικασίας ALD. Οι βαλβίδες πολλαπλών οπών μας, σχεδιασμένες για εφαρμογές επίστρωσης ALD υψηλής θερμοκρασίας, αντέχουν σε αυξημένες θερμοκρασίες, ενώ βελτιστοποιούν την απόδοση καθαρισμού για την ελαχιστοποίηση των υπολειμματικών επιδράσεων του προδρόμου στην ποιότητα της επίστρωσης.
CVD: “Αντοχή στη Διάβρωση” και “Σταθερότητα Ροής”
Τα σώματα των βαλβίδων μας είναι κατασκευασμένα από ανθεκτικές στη διάβρωση συναρμολογήσεις βαλβίδων που περιέχουν πάνω από 25% κράμα χρωμίου-νικελίου-μολυβδαινίου. Η διαδικασία CVD εξασφαλίζει συνεχή, μακροχρόνια λειτουργία χωρίς διάβρωση ή διαρροή. Όσον αφορά τον έλεγχο ροής, το σύστημα ελέγχου αλληλοσύνδεσης πολλαπλών βαλβίδων διατηρεί την απόκλιση ροής εντός ±0,2%, ξεπερνώντας σημαντικά το μέσο βιομηχανικό πρότυπο ακρίβειας του ±0,3%. Αυτό επιλύει αποτελεσματικά την πρόκληση της βιομηχανίας “διακυμάνσεις ροής που προκαλούν απόκλιση πάχους επίστρωσης.”
Ειδικός Σωλήνας Αερίου “Τρεις Ιδιότητες”
Η “καθαρότητα, σταθερότητα και ιχνηλασιμότητα” των ειδικών αγωγών αερίου χρησιμεύουν ως αόρατη ασφάλεια για τις διαδικασίες επίστρωσης κενού.
Καθαριότητα Αγωγών
Η καθαριότητα των εσωτερικών τοιχωμάτων των αγωγών πρέπει να ελέγχεται αυστηρά. Για το σκοπό αυτό, έχουμε δημιουργήσει ένα ολοκληρωμένο σύστημα διαχείρισης καθαριότητας που περιλαμβάνει “καθαρισμό, συγκόλληση, καθαρισμό και επιθεώρηση.” Χρησιμοποιώντας μια διαδικασία που συνδυάζει “υπερηχητικό καθαρισμό + καθαρισμό αζώτου υψηλής καθαρότητας + επεξεργασία παθητικοποίησης,” η τιμή Ra των εσωτερικών τοιχωμάτων των αγωγών επιτυγχάνει σταθερά 0,35μm.
Ακριβής αντιστοίχιση σύμφωνα με την ονομαστική πίεση
Οι πιέσεις των αγωγών ποικίλλουν σημαντικά σε διαφορετικά σενάρια επίστρωσης κενού (το ALD κυμαίνεται συνήθως από 10⁻³ έως 10⁻⁵ Pa, ενώ το CVD λειτουργεί συνήθως στα 0,1 έως 0,5 MPa), απαιτώντας μεθόδους σύνδεσης συμβατές με την ονομαστική πίεση.
· Χαμηλή πίεση (≤0,3 MPa): Συνδέσεις διπλής φερρούλας
· Υψηλή πίεση (≥0,5 MPa): Αυτόματη συγκόλληση TIG
· Εξαιρετικά υψηλό κενό (≤1e-4 Pa): Φλάντζες με μεταλλική σφράγιση
Δυναμική Ισορροπία Πίεσης
Η παλμική παροχή αερίου στη διαδικασία ALD προκαλεί διακυμάνσεις πίεσης στους αγωγούς. Εάν οι διακυμάνσεις υπερβαίνουν το ±0,02 MPa, η σταθερότητα της συγκέντρωσης του προδρόμου τίθεται σε κίνδυνο. Ρυθμίζοντας τον ρυθμιστή πίεσης ανάντη, ελέγξαμε τις διακυμάνσεις της πίεσης εισόδου σε ±0,005 MPa. Σε συνδυασμό με τη ρύθμιση ανατροφοδότησης σε πραγματικό χρόνο από έναν αισθητήρα πίεσης υψηλής ακρίβειας με ακρίβεια ±0,1% FS, πετύχαμε τελικά διακυμάνσεις πίεσης αγωγών ≤±0,003 MPa, εξασφαλίζοντας σταθερή συγκέντρωση παλμού ALD.
Κατευθύνσεις αναβάθμισης πυρήνα για ειδικό εξοπλισμό αερίου
Ο ειδικός εξοπλισμός αερίου πρέπει να μεταβεί από την “απομονωμένη λειτουργία” στην “βαθιά ενσωμάτωση με τη διαδικασία.”
Εξοπλισμός ανάμειξης αερίου: Ακριβής ανάμειξη πολλαπλών συστατικών
Οι διαδικασίες CVD απαιτούν συνήθως 2-4 αέρια αναμεμειγμένα σε σταθερές αναλογίες. Επομένως, χρησιμοποιούμε διεθνώς κορυφαίους ελεγκτές ροής μάζας υψηλής ακρίβειας (MFCs) με ακρίβεια μέτρησης ±0,05% FS, εξασφαλίζοντας εξαιρετική σταθερότητα και αξιοπιστία στον έλεγχο ροής ρευστού. Εξοπλισμένοι με τον ιδιόκτητο αλγόριθμο ανάμειξης, αυτοί οι ελεγκτές παρακολουθούν συνεχώς και αντισταθμίζουν τις επιπτώσεις των διακυμάνσεων της θερμοκρασίας και της πίεσης του αερίου στις παραμέτρους ροής.
Εξοπλισμός επεξεργασίας καυσαερίων: Πληροί τόσο τα περιβαλλοντικά όσο και τα πρότυπα ασφαλείας
Τα καυσαέρια που παράγονται από τη διαδικασία CVD πρέπει να πληρούν τα πρότυπα εκπομπών. Χρησιμοποιούμε ένα ολοκληρωμένο σύστημα επεξεργασίας καυσαερίων.
Στάδιο ξηρής προσρόφησης: Εξοπλισμένο με εξαιρετικά επιλεκτικούς εξειδικευμένους προσροφητές, αυτό το σύστημα προσρόφησης πολλαπλών σταδίων επιτυγχάνει εξαιρετικά υψηλή απόδοση προσρόφησης ≥99,9%. Στάδιο αποτέφρωσης: Για πολύπλοκες, δύσκολα αποικοδομήσιμες οργανικές ενώσεις, δημιουργείται ένα περιβάλλον πυρόλυσης υψηλής θερμοκρασίας. Σε συνδυασμό με την τεχνολογία ενίσχυσης τυρβώδους καύσης, αυτό επιτυγχάνει ρυθμό βαθιάς αποσύνθεσης ≥99,99%, εξαλείφοντας πλήρως τον κίνδυνο οργανικών ρύπων.
Ολοκληρωμένο σύστημα “Ειδικό ντουλάπι αερίου + Σωληνώσεις + Εξοπλισμός”
Για την ελαχιστοποίηση των σημείων διασύνδεσης και τη μείωση των κινδύνων διαρροής, προσφέρουμε μια ολοκληρωμένη λύση. Από το σχεδιασμό του ειδικού ντουλαπιού αερίου (συμπεριλαμβανομένου του καθαρισμού, της διανομής και των ελέγχων ασφαλείας) έως τη συγκόλληση αγωγών και την ενσωμάτωση εξοπλισμού επεξεργασίας καυσαερίων, ολόκληρη η διαδικασία εκτελείται επαγγελματικά από μια ενιαία ομάδα.
Αξιοποίηση της Ένωσης ως Γέφυρα για την Προώθηση της Τεχνολογίας της Βιομηχανίας
Αυτό το συνέδριο για την “Καινοτομία στην Τεχνολογία Επίστρωσης κενού και Μηχανικής Επιφανειών” χρησιμεύει όχι μόνο ως πλατφόρμα για την ανταλλαγή τεχνολογίας σε όλη τη βιομηχανία, αλλά και ως παράδειγμα της δέσμευσης της Wofei Technology για την εμβάθυνση των συνδέσεων της βιομηχανίας και την προώθηση της “τεχνολογικά ενισχυμένης κατασκευής.”
Προχωρώντας, θα συνεχίσουμε να αξιοποιούμε την Ένωση Βιομηχανίας Τεχνολογίας κενού ως γέφυρα, εστιάζοντας στις απαιτήσεις ελέγχου ρευστού για βασικές διαδικασίες όπως ALD/CVD. Στόχος μας είναι να οδηγήσουμε την εφαρμογή περισσότερων τεχνολογικών καινοτομιών, ωθώντας την τεχνολογία επίστρωσης κενού και μηχανικής επιφανειών προς μια νέα εποχή υψηλότερης ακρίβειας και ενισχυμένης ασφάλειας!