Η WOFLY αποκαλύπτει τη συσκευή διακυβέρνησης βαλβίδων σιλάνης υψηλής ασφάλειας (VMB) για την ενίσχυση της κατασκευής ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών

Η Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), κορυφαίος πάροχος συστημάτων παροχής αερίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, κυκλοφόρησε επίσημα το εξειδικευμένο Silane Valve Multifold Box (VMB). Σχεδιασμένο ειδικά για τη διανομή επικίνδυνων ειδικών αερίων, αυτό το νέο σύστημα παρέχει διπλή εγγύηση ασφάλειας και ακρίβειας για κρίσιμες για την αποστολή διεργασίες στις βιομηχανίες ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και οπτοηλεκτρονικών.

Το Silane (SiH4) είναι ο ακρογωνιαίος λίθος της σύγχρονης κατασκευής ηλεκτρονικών ειδών, αλλά παρουσιάζει ακραίους κινδύνους λόγω της πυροφορικής και εκρηκτικής φύσης του. Η νέα σειρά VMB της WOFLY αντιμετωπίζει αυτές τις προκλήσεις μέσω ενός συνδυασμού δομικής καινοτομίας και έξυπνων ελέγχων ασφαλείας.

Προηγμένη Διανομή & Ανεξάρτητος Έλεγχος

Το WOFLY VMB έχει σχεδιαστεί για να χωρίζει μια ενιαία πηγή αερίου ανάντη σε πολλαπλούς ανεξάρτητους κλάδους διανομής, παρέχοντας αέριο σε πολλά εργαλεία διεργασίας ταυτόχρονα. Κάθε κλάδος διαθέτει ανεξάρτητες βαλβίδες διακοπής και μονάδες παρακολούθησης πίεσης, επιτρέποντας την απομονωμένη συντήρηση και την αντιμετώπιση προβλημάτων χωρίς να διακόπτεται η λειτουργία άλλων γραμμών παραγωγής.

Βασικά Χαρακτηριστικά Ασφαλείας & Τεχνική Αριστεία

1. Σύστημα αδρανούς εκκένωσης & μετατόπισης

Εξοπλισμένο με ενσωματωμένες γραμμές καθαρισμού και κενού αζώτου υψηλής καθαρότητας (PN2). Αυτό διασφαλίζει την πλήρη αφαίρεση του υπολειμματικού σιλανίου πριν από τη συντήρηση ή τις αλλαγές εξοπλισμού, ακολουθώντας αυστηρά τα πρότυπα ασφαλείας για την αποφυγή αυθόρμητης καύσης κατά την επαφή με τον αέρα.

2. Παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο & Συναγερμοί Interlock

Οι ενσωματωμένοι αισθητήρες και μετρητές πίεσης υψηλής ακρίβειας παρέχουν απόκριση σε επίπεδο χιλιοστού του δευτερολέπτου. Το σύστημα συνδέεται με πνευματικές βαλβίδες διακοπής έκτακτης ανάγκης και κέντρα ελέγχου εγκαταστάσεων, ενεργοποιώντας την άμεση απομόνωση εάν εντοπιστούν ανωμαλίες πίεσης ή διαρροές.

3. Περίβλημα αρνητικής πίεσης

Το πλήρως κλειστό ντουλάπι από ανοξείδωτο χάλυβα 316L διατηρεί σταθερή αρνητική πίεση. Οποιεσδήποτε διαρροές ίχνους περιορίζονται και εξάγονται με ασφάλεια μέσω ενός κεντρικού συστήματος εξάτμισης σε μια μονάδα μείωσης, εξαλείφοντας τους κινδύνους για το περιβάλλον του συνεργείου.

4. Ηλεκτρονική καθαρότητα βαθμού

Όλα τα βρεγμένα εξαρτήματα είναι κατασκευασμένα από ανοξείδωτο χάλυβα ποιότητας SS316L EP (Electropolished). Χρησιμοποιώντας αυτόματη τροχιακή συγκόλληση, το σύστημα διασφαλίζει ένα καθαρό περιβάλλον χωρίς σωματίδια με ρυθμό διαρροής ηλίου ≤ 1×10-9 atm·cc/s, διατηρώντας την ακεραιότητα του αερίου υψηλής καθαρότητας.

Εφαρμογές ευρείας κλίμακας

Η ευελιξία και ο στιβαρός σχεδιασμός του WOFLY Silane VMB το καθιστούν την τυπική διαμόρφωση για:

- Fab γκοφρέτας ημιαγωγών:Απαραίτητο για διαδικασίες εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης όπως PECVD, LPCVD και ALD.

- Παραγωγή Φωτοβολταϊκών Κυψελών:Χρησιμοποιείται ευρέως σε κυτταρικές σειρές υψηλής απόδοσης όπως TOPCon και HJT για εναπόθεση φιλμ με βάση το πυρίτιο.

- Προηγμένη κατασκευή οθόνης:Υποστήριξη παραγωγής TFT-LCD, AMOLED και Mini/Micro LED.

- Έρευνα & Εργαστήρια:Παροχή μικρής κλίμακας, ακριβούς διανομής για Ε&Α υλικών και επαλήθευση διεργασιών.

«Η ασφάλεια και η καθαρότητα είναι αδιαπραγμάτευτες στον ειδικό χειρισμό αερίου», δήλωσε ο Τεχνικός Διευθυντής της WOFLY. "Το νέο μας Silane VMB δεν είναι απλώς ένα κουτί διανομής, είναι μια ολοκληρωμένη ασπίδα ασφαλείας που επιτρέπει στους πελάτες μας να κλιμακώσουν την παραγωγή τους με απόλυτη εμπιστοσύνη."

Για περισσότερες λεπτομέρειες σχετικά με το Silane VMB ή για να εξερευνήσετε την πλήρη γκάμα λύσεων διαχείρισης αερίου, επισκεφθείτε την ιστοσελίδα μας στη διεύθυνσηwww.szwofly.comή επικοινωνήστε μαζί μας στο info@szwofly.com.

Σχετικά με το WOFLY

Η Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) είναι μια εξειδικευμένη εταιρεία κατασκευής και μηχανικής που εστιάζει σε συστήματα παροχής αερίου υψηλής καθαρότητας. Με πάνω από μια δεκαετία τεχνογνωσίας, η WOFLY εξυπηρετεί την παγκόσμια βιομηχανία υψηλής τεχνολογίας με ρυθμιστές υψηλής ακρίβειας, VMB, ντουλάπια αερίου και ολοκληρωμένες λύσεις σωληνώσεων.