Η τεχνολογία Wofly VMB Valve Manifold Distribution Box για εφαρμογές σε σιλέν

Κουτί διανομής συναρμολόγησης βαλβίδων VMB για σιλάνια

Διπλή διασφάλιση ασφάλειας και ακρίβειας στη διανομή ειδικών αερίων υψηλού κινδύνου

01 Βασικές Λειτουργίες

Διανομή πολλαπλών διαδρομών μίας πηγής, ανεξάρτητος έλεγχος υποκαταστημάτων

Ο εξοπλισμός μπορεί να χωρίσει μια ενιαία παροχή αερίου σιλανίου από ένα ειδικό ερμάριο αερίου ανάντη σε πολλαπλούς ανεξάρτητους κλάδους τροφοδοσίας, τροφοδοτώντας ταυτόχρονα αέριο σε πολλαπλές μονάδες διεργασίας και υποστηρίζει την προσαρμογή των διακλαδώσεων ανάλογα με τις ανάγκες. Κάθε κλάδος είναι εξοπλισμένος με μια ανεξάρτητη βαλβίδα ενεργοποίησης/απενεργοποίησης και μια μονάδα παρακολούθησης πίεσης, που επιτρέπει τον ξεχωριστό έλεγχο της ροής του αερίου και τη διακοπή λειτουργίας για συντήρηση. Η συντήρηση σε έναν κλάδο δεν παρεμποδίζει την κανονική παροχή αερίου σε άλλους κλάδους, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο διακοπής λειτουργίας της γραμμής παραγωγής.

Αδρανής εκκένωσης και αντικατάσταση κενού για τη διασφάλιση της λειτουργικής ασφάλειας

Το σύστημα διαθέτει ενσωματωμένες γραμμές καθαρισμού αζώτου υψηλής καθαρότητας (PN2) και γραμμές εξαγωγής κενού. Πριν από τη συντήρηση διακλάδωσης, την εκκίνηση ή το κλείσιμο του εξοπλισμού ή την αποσυναρμολόγηση και επανασυναρμολόγηση του αγωγού, ο αγωγός στόχος μπορεί να υποβληθεί σε πλήρη διαδικασία εκκένωσης αδρανούς αερίου και αντικατάσταση κενού, καθαρίζοντας διεξοδικά το υπολειμματικό αέριο σιλανίου από τις γραμμές και αποτρέποντας την αυθόρμητη καύση που προκαλείται από την επαφή του σιλανίου με τον αέρα μετά το άνοιγμα της βαλβίδας. Αυτό συμμορφώνεται πλήρως με τις απαιτήσεις λειτουργίας ασφαλείας για συστήματα σιλανίου που περιγράφονται στα Τεχνικά Τεχνικά Πρότυπα για Ειδικά Συστήματα Αερίου.

Σωληνώσεις από ανοξείδωτο χάλυβα 316LEP

Παρακολούθηση πίεσης σε πραγματικό χρόνο και ειδοποιήσεις διασύνδεσης ανώμαλων καταστάσεων

Κάθε γραμμή διακλάδωσης είναι εξοπλισμένη με μετρητές πίεσης και αισθητήρες πίεσης υψηλής ακρίβειας που εμφανίζουν τις συνθήκες πίεσης σε πραγματικό χρόνο στην είσοδο και την έξοδο και υποστηρίζουν τη διαμόρφωση των συναγερμών ανώτερου και κατώτερου ορίου πίεσης. Σε συνδυασμό με πνευματικές βαλβίδες διακοπής έκτακτης ανάγκης, το σύστημα μπορεί να διακόψει γρήγορα την αντίστοιχη γραμμή διακλάδωσης —ή ακόμη και την κύρια παροχή αερίου— με την ανίχνευση κινδύνων όπως μη φυσιολογική πίεση ή διαρροές αερίου. Ενεργοποιεί ηχητικούς και οπτικούς συναγερμούς και ενσωματώνεται με το κεντρικό σύστημα ελέγχου της εγκατάστασης για την επίτευξη απόκρισης έκτακτης ανάγκης σε επίπεδο χιλιοστού του δευτερολέπτου.

Προστασία σφραγισμένης αρνητικής πίεσης, κεντρικός έλεγχος διαρροών

Το σύστημα χρησιμοποιεί μια πλήρως κλειστή δομή ντουλαπιού, που διαθέτει μια επάνω θύρα εξαγωγής και μια κάτω γρίλια εισαγωγής, για τη διατήρηση μιας σταθερής αρνητικής πίεσης μέσα στο ερμάριο κατά τη λειτουργία. Ακόμη και σε περίπτωση ίχνης διαρροής, το αέριο σιλανίου περιορίζεται εντός του ντουλαπιού και εξάγεται κεντρικά μέσω του συστήματος εξάτμισης στη μονάδα επεξεργασίας καυσαερίων, αποτρέποντας τη διάδοση του διαρρέοντος αερίου στο εργαστήριο παραγωγής και εξαλείφοντας τους κινδύνους αυθόρμητης καύσης και δηλητηρίασης σε χωρικό επίπεδο.

02 Βασικά χαρακτηριστικά

Σχεδιασμός ασφαλείας ειδικά για αέρια υψηλού κινδύνου

Ειδικά βελτιστοποιημένο για τις ιδιότητες αυτανάφλεξης και τις εκρηκτικές ιδιότητες του σιλανίου, το σύστημα μπορεί να εξοπλιστεί με ενσωματωμένους ανιχνευτές αερίου σιλανίου και συσκευές ανίχνευσης φλόγας. Όλα τα ηλεκτρικά εξαρτήματα πληρούν τις προδιαγραφές αντιεκρηκτικής προστασίας και ο μηχανισμός κλειδώματος ασφαλείας πολλαπλών στρωμάτων συμμορφώνεται πλήρως με τα πρότυπα ελέγχου για ειδικά αέρια υψηλού κινδύνου, που υπερβαίνουν κατά πολύ το επίπεδο ασφάλειας των τυπικών VMB αδρανούς αερίου.

Παροχή αερίου υψηλής καθαρότητας ηλεκτρονικών

Όλα τα εξαρτήματα ροής είναι κατασκευασμένα από ανοξείδωτο χάλυβα ποιότητας EP SS316L με ηλεκτρολυτικά γυαλισμένες εσωτερικές επιφάνειες. Οι σωληνώσεις κατασκευάζονται χρησιμοποιώντας μια πλήρως αυτοματοποιημένη διαδικασία συγκόλλησης τροχιάς, διασφαλίζοντας ότι δεν υπάρχουν νεκρές γωνίες και δεν απελευθερώνονται σωματίδια. Οι βαλβίδες υποβάλλονται σε δοκιμή διαρροής ηλίου με ρυθμό διαρροής ≤1×10-4 atm・cc/s, που εγγυάται ότι η καθαρότητα του αερίου σιλανίου παραμένει αδιαμφισβήτητη καθ' όλη τη διάρκεια της διαδικασίας και πληροί τις απαιτήσεις των διαδικασιών παραγωγής υψηλής ακρίβειας.

Ο σχεδιασμός του δαπέδου προσφέρει εξαιρετική προσαρμοστικότητα

Ο σχεδιασμός του βραχίονα δαπέδου παρέχει μεγαλύτερη φέρουσα ικανότητα και εξαλείφει την ανάγκη τοποθέτησης στον τοίχο. Μπορεί να τοποθετηθεί με ευελιξία σε διάφορες ρυθμίσεις, όπως γύρω από καθαρούς χώρους ή κατά μήκος ειδικών διαδρόμων αερίου, καθιστώντας το πιο προσαρμόσιμο σε περίπλοκες διατάξεις γραμμής παραγωγής σε σύγκριση με τα VMB επιτοίχια.

VMB Εσωτερικές Βαλβίδες / Βαλβίδες Διαφράγματος / Πιεσόμετρα

03 Βασικά σενάρια εφαρμογής

Κατασκευή γκοφρέτας ημιαγωγών

Συμβατό με διαδικασίες εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης όπως PECVD, LPCVD και ALD σε γραμμές παραγωγής γκοφρετών, αυτό το σύστημα διανέμει με ακρίβεια το αέριο σιλάνιο σε πολλαπλές συσκευές επικάλυψης, διασφαλίζοντας τη σταθερότητα της διαδικασίας για την εναπόθεση φιλμ νιτριδίου του πυριτίου και οξειδίου του πυριτίου. Πληροί επίσης τις απαιτήσεις ελέγχου ασφάλειας για αέρια υψηλού κινδύνου σε καθαρούς χώρους, καθιστώντας το την τυπική διαμόρφωση για δευτερογενή διανομή ειδικών αερίων σε βαφρέτες.

Παραγωγή Φωτοβολταϊκών Κυψελών

Χρησιμοποιείται ευρέως σε γραμμές παραγωγής κυψελών υψηλής απόδοσης όπως το TOPCon, το HJT και το heterojunction, αυτό το σύστημα επιτρέπει τη διανομή αερίου σιλανίου σε πολλαπλές μηχανές κατά τη διάρκεια της εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης και των διεργασιών ντόπινγκ με βάση το πυρίτιο. Ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις συνεχούς παροχής φυσικού αερίου των γραμμών παραγωγής φωτοβολταϊκών υψηλής χωρητικότητας, ενώ παρέχει ευελιξία για μετασκευές και επεκτάσεις γραμμών, συμβάλλοντας έτσι στη μείωση του κόστους και στη βελτίωση της απόδοσης.

- VMB -

Επόμενης γενιάς Οθόνη και Κατασκευή Οπτοηλεκτρονικών

Εξυπηρετώντας γραμμές παραγωγής πάνελ οθονών TFT-LCD, AMOLED και Mini/Micro LED, καθώς και πεδία όπως προμορφώματα οπτικών ινών και σύνθετοι ημιαγωγοί, παρέχουμε σταθερή και ελεγχόμενη διανομή και παράδοση σιλανίου για διαδικασίες εναπόθεσης και χάραξης λεπτής μεμβράνης, προσαρμοσμένες στις γραμμές παραγωγής φυσικού αερίου μεγάλης κλίμακας, πολλαπλών γενεών.

Ερευνητικά Ινστιτούτα και Εργαστήρια Δοκιμών

Παρέχει λύσεις διανομής σιλανίου μικρής κλίμακας για πλατφόρμες Ε&Α υλικών και επικύρωσης διεργασιών σε πανεπιστημιακά εργαστήρια και ερευνητικά ιδρύματα, εξισορροπώντας τη λειτουργική ασφάλεια με την ακρίβεια παροχής αερίου για την κάλυψη των αναγκών πειραματικών εφαρμογών αερίου μικρής παρτίδας και πολλαπλών συνθηκών.

Πλεονεκτήματα του WoflyΠροϊόντα και Υπηρεσίες της Τεχνολογίας

1. Εσωτερική Ε&Α και Κατασκευή, με εξαιρετικές δυνατότητες προσαρμογής

Ως επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας σε εθνικό επίπεδο και επιχείρηση «Ειδική, Εκλεπτυσμένη, Διακριτική και Καινοτόμα», η Wofly Technology διαθέτει ανεξάρτητες δυνατότητες Ε&Α και κατασκευής. Η εταιρεία έχει δημιουργήσει τη δική της παραγωγική βάση 8.000 τετραγωνικών μέτρων, πλήρης με εργαστήρια συναρμολόγησης καθαρού δωματίου Class 100 και Class 1.000. Ολόκληρη η διαδικασία παραγωγής για την πλήρη σειρά προϊόντων VMB - από το σχεδιασμό λύσεων και τη συναρμολόγηση βαλβίδων έως τη δοκιμή και την αποστολή - ολοκληρώνεται στο εσωτερικό. Τα προϊόντα μπορούν να προσαρμοστούν πλήρως για να ανταποκρίνονται στις συγκεκριμένες απαιτήσεις των πελατών σχετικά με τον αριθμό των εξόδων αερίου, τις παραμέτρους πίεσης, τους τρόπους ελέγχου και τα σενάρια εγκατάστασης, καλύπτοντας τις ανάγκες των γραμμών παραγωγής σε διάφορες βιομηχανίες και διαφορετικής κλίμακας.

Εσωτερική προβολή του VMB Σχεδιασμένο ειδικά για Silanes

2. Πλήρη Προσόντα και Εγγυημένη Συμμόρφωση

Η εταιρεία διαθέτει εξειδικευμένο πτυχίο εργολαβίας για έργα κτιριακών μηχανολογικών και ηλεκτρολογικών εγκαταστάσεων, πτυχίο GC2 για σχεδιασμό και εγκατάσταση αγωγών πίεσης και Άδεια Ασφάλειας Εργασίας. Τα προϊόντα μας έχουν λάβει πολλαπλές πιστοποιήσεις, συμπεριλαμβανομένων των CE και ISO 9001. Ο σχεδιασμός και η κατασκευή τηρούν αυστηρά τα εθνικά πρότυπα για ειδική μηχανική αερίου, όπως το GB 50646. Όλος ο εξοπλισμός υποβάλλεται σε εκτενείς δοκιμές διαρροής ηλίου και λειτουργικές δοκιμές πριν φύγει από το εργοστάσιο, διασφαλίζοντας ότι είναι έτοιμος για συμβατή λειτουργία κατά την παράδοση.

Μια περιήγηση στοWoflyΤεχνολογία Class 1.000 Cleanroom

3. Υπηρεσία One-Stop σε ολόκληρη την αλυσίδα του κλάδου

Πέρα από την απλή προμήθεια μεμονωμένου εξοπλισμού, η Wofly Technology παρέχει μια ολοκληρωμένη, ενιαία λύση που καλύπτει ολόκληρη τη διαδικασία—από τον σχεδιασμό εξειδικευμένων πρατηρίων καυσίμων, την εγκατάσταση του κύριου αγωγού και τη διάταξη κόμβου διανομής VMB έως τις δευτερεύουσες σωληνώσεις τελικού σημείου. Αυτή η λύση περιλαμβάνει τον πλήρη κύκλο ζωής, συμπεριλαμβανομένων των τεχνικών συμβουλών, του σχεδιασμού συστήματος, της προκατασκευής και εγκατάστασης, των δοκιμών και της αποδοχής, καθώς και της εκπαίδευσης σε λειτουργίες και συντήρηση. Οι πελάτες δεν χρειάζεται να συντονίζονται με πολλούς προμηθευτές, μειώνοντας σημαντικά το κόστος επικοινωνίας και διαχείρισης του έργου.

Εσωτερική προβολή του VMB Σχεδιασμένο ειδικά για Silanes

4. Πάνω από μια δεκαετία εμπειρογνωμοσύνης στον κλάδο και εκτεταμένη εμπειρία εφαρμογής

Με πάνω από μια δεκαετία βαθιάς τεχνογνωσίας στον τομέα των ειδικών αερίων για τη βιομηχανία ηλεκτρονικών, οι υπηρεσίες μας καλύπτουν πολλούς τομείς, συμπεριλαμβανομένων των ημιαγωγών, των φωτοβολταϊκών, των βιοφαρμακευτικών προϊόντων και των ερευνητικών ιδρυμάτων. Έχουμε υλοποιήσει με επιτυχία εκατοντάδες εξειδικευμένα έργα μηχανικής συστημάτων αερίου. Η βασική μας ομάδα διαθέτει εκτενή εμπειρία στο σχεδιασμό και την κατασκευή εξειδικευμένων συστημάτων αερίου υψηλού κινδύνου, επιτρέποντάς μας να ανταποκρινόμαστε γρήγορα στις ανάγκες των πελατών και να παρέχουμε βέλτιστες λύσεις προσαρμοσμένες στις πραγματικές συνθήκες λειτουργίας.

WoflyΒιτρίνα VMB και Specialty Gas Cabinet της Technology

Ως «κόμβος τελικού σημείου» των ηλεκτρονικών εξειδικευμένων συστημάτων αερίου, το ειδικό για το σιλάνιο VMB είναι ένα κρίσιμο συστατικό για τη διασφάλιση ασφαλούς, σταθερής και υψηλής καθαρότητας παροχής αερίου στις γραμμές παραγωγής. Η Wofly Technology θα συνεχίσει να δίνει προτεραιότητα στην τεχνολογία, βελτιστοποιώντας επαναληπτικά τα προϊόντα της για διάφορες συνθήκες λειτουργίας ειδικού αερίου υψηλού κινδύνου, ώστε να παρέχει στη βιομηχανία κατασκευής υψηλών προδιαγραφών πιο αξιόπιστες και προσαρμοσμένες λύσεις εξειδικευμένων συστημάτων αερίου.