Η High-purity τεχνολογία διοχέτευσης με σωλήνες αερίου είναι ένα σημαντικό μέρος του high-purity συστήματος εφοδιασμού υγραερίου, το οποίο είναι η βασική τεχνολογία για να παραδώσει το απαραίτητο high-purity αέριο στο σημείο της χρήσης και να διατηρήσει ακόμα την κατάλληλη ποιότητα Η High-purity τεχνολογία διοχέτευσης με σωλήνες αερίου περιλαμβάνει το σωστό σχέδιο του συστήματος, την επιλογή των συναρμολογήσεων και των εξαρτημάτων, την κατασκευή και την εγκατάσταση, και τη δοκιμή. Τα τελευταία χρόνια, οι όλο και περισσότερο ακριβείς απαιτήσεις στην αγνότητα και την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες των high-purity αερίων στην παραγωγή των προϊόντων μικροηλεκτρονικής που αντιπροσωπεύονται από τα μεγάλης κλίμακας ολοκληρωμένα κυκλώματα έχουν κάνει την τεχνολογία σωληνώσεων των high-purity αερίων που έχουν σχέση όλο και περισσότερο και που υπογραμμίζονται. Ο ακόλουθος είναι μια συνοπτική επισκόπηση της high-purity διοχέτευσης με σωλήνες αερίου από την υλική επιλογή της κατασκευής, καθώς επίσης και καθημερινής διαχείριση αποδοχής και.
Τύποι κοινών αερίων
Ταξινόμηση των κοινών αερίων στη βιομηχανία ηλεκτρονικής:
Κοινά αέρια (μαζικό αέριο): υδρογόνο (H2), άζωτο (Ν2), οξυγόνο (Ο2), αργό (A2), κ.λπ.
ΤΑ ΑΈΡΙΑ ΕΙΔΙΚΌΤΗΤΑΣ ΕΊΝΑΙ SIH4, PH3, B2H6, A8H3, CL, HCL, CF4, NH3, POCL3, SIH2CL2 SIHCL3, NH3, BCL3, SIF4, CLF3, ΚΟΒΆΛΤΙΟ, C2F6, Ν2Ο, F2, HF, HBR SF6 ...... Κ.ΛΠ.
Οι τύποι ειδικών αερίων μπορούν γενικά να ταξινομηθούν ως διαβρωτικό αέριο, τοξικό αέριο, εύφλεκτο αέριο, καύσιμο αέριο, αδρανές αέριο, κ.λπ. Τα συνήθως χρησιμοποιημένα αέρια ημιαγωγών είναι γενικά ταξινομημένα ως εξής.
(ι) διαβρωτικό/τοξικό αέριο: HCL, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, CL2, BCl3… κ.λπ.
(ii) αέριο ευφλέκτου: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, κοβάλτιο… κ.λπ.
(iii) combustibility αέριο: Ο2, CL2, Ν2Ο, NF3… κ.λπ.
(iv) αδρανές αέριο: Ν2, CF4, C2F6, C4F8, SF6, CO2, ΝΕ, KR, αυτός… κ.λπ.
Πολλά αέρια ημιαγωγών είναι επιβλαβή στο ανθρώπινο σώμα. Ιδίως, μερικά από αυτά τα αέρια, όπως η αυθόρμητη καύση SiH4, εφ' όσον θα αντιδράσει βίαια μια διαρροή με το οξυγόνο στον αέρα και θα αρχίσει να καίει και AsH3 ιδιαίτερα τοξικό, οποιαδήποτε μικρή διαρροή μπορεί να προκαλέσει τον κίνδυνο ανθρώπινης ζωής, είναι λόγω αυτών των προφανών κινδύνων, έτσι οι απαιτήσεις για την ασφάλεια του σχεδίου συστημάτων είναι ιδιαίτερα υψηλές.
Πεδίο εφαρμογής των αερίων
Σαν σημαντική βασική πρώτη ύλη της σύγχρονης βιομηχανίας, τα προϊόντα αερίου χρησιμοποιούνται ευρέως, και ένας μεγάλος αριθμός κοινών αερίων ή ειδικών αερίων χρησιμοποιείται στη μεταλλουργία, το χάλυβα, το πετρέλαιο, τη χημική βιομηχανία, τα μηχανήματα, την ηλεκτρονική, το γυαλί, την κεραμική, τα οικοδομικά υλικά, την οικοδόμηση, την επεξεργασία τροφίμων, την ιατρική και τους ιατρικούς τομείς. Η εφαρμογή του αερίου ασκεί σημαντική επίδραση στην υψηλή τεχνολογία αυτών των τομέων ιδίως, και είναι το αναπόφευκτο αέριο πρώτης ύλης της ή αέριο διαδικασίας. Μόνο με τις ανάγκες και την προώθηση των διάφορων νέων βιομηχανικών τομέων και της σύγχρονων επιστήμης και της τεχνολογίας, τα προϊόντα βιομηχανίας φυσικού αερίου μπορούν να αναπτυχθούν από τα πηδήματα και τα όρια από την άποψη της ποικιλίας, της ποιότητας και της ποσότητας.
Εφαρμογή αερίου στη μικροηλεκτρονική και τη βιομηχανία ημιαγωγών
Η χρήση του αερίου έχει διαδραματίσει πάντα έναν σημαντικό ρόλο στη διαδικασία ημιαγωγών, ειδικά η διαδικασία ημιαγωγών έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως στις διάφορες βιομηχανίες, από το παραδοσιακό ULSI, tft-LCD στην τρέχουσα micro-electro-mechanical βιομηχανία (MEMS), οι οποίες χρησιμοποιούν την αποκαλούμενη διαδικασία ημιαγωγών ως διαδικασία παραγωγής των προϊόντων. Η αγνότητα του αερίου ασκεί αποφασιστική επίδραση στην απόδοση των συστατικών και των παραγωγών προϊόντων, και η ασφάλεια του εφοδιασμού υγραερίου συσχετίζεται με την υγεία του προσωπικού και την ασφάλεια των διαδικασιών εγκαταστάσεων.
Η σημασία της high-purity διοχέτευσης με σωλήνες στις high-purity μεταφορές αερίου
Στο στάδιο του ανοξείδωτου που λειώνει και που κάνει υλικός, για 200g του αερίου μπορεί να απορροφηθεί ανά τόνο. Μετά από την επεξεργασία του ανοξείδωτου, όχι μόνο η επιφάνειά της κολλώδης με τους διάφορους μολυσματικούς παράγοντες, αλλά και στο δικτυωτό πλέγμα μετάλλων της απορρόφησε επίσης ένα συγκεκριμένο ποσό του αερίου. Όταν υπάρχει ροή αέρος μέσω της σωλήνωσης, το μέταλλο απορροφά αυτό το μέρος του αερίου θα επανεισέλθει τη ροή αέρος, που μολύνει το καθαρό αέριο. Όταν η ροή αέρος στο σωλήνα είναι ασυνεχής ροή, ο σωλήνας προσροφά το αέριο υπό πίεση, και όταν σταματά η ροή αέρος, το αέριο που προσροφάται από το σωλήνα διαμορφώνει μια πτώση πίεσης που επιλύει, και το επιλυμένο αέριο εισάγει επίσης το καθαρό αέριο
Γενική έννοια της καθαρής τεχνολογίας για τις σωληνώσεις μετάδοσης και διανομής
Η ιδιαίτερα καθαρή και καθαρή μετάδοση σωμάτων αερίου με τη σωλήνωση σημαίνει ότι υπάρχουν ορισμένοι απαιτήσεις ή έλεγχοι για τρεις πτυχές του αερίου που μεταφέρεται.
Αγνότητα αερίου: Το περιεχόμενο της ατμόσφαιρας ακαθαρσιών στην αγνότητα gGas: Το περιεχόμενο της ατμόσφαιρας ακαθαρσιών στο αέριο, που εκφράζεται συνήθως ως ποσοστό της αγνότητας αερίου, όπως 99.9999%, που εκφράζεται επίσης ως αναλογία όγκου της περιεκτικότητας σε PPM ατμόσφαιρα ακαθαρσιών, ppb, ppt.
Ξηρότητα: το ποσό υγρασίας ιχνών στο αέριο, ή το ποσό κάλεσε την υγρασία, που εκφράστηκε συνήθως από την άποψη του σημείου δροσιάς, όπως το ατμοσφαιρικό σημείο δροσιάς πίεσης -70. Γ.
Καθαρότητα: ο αριθμός μορίων μολυσματικών παραγόντων που περιλήφθηκαν στο αέριο, μέγεθος μορίων µm, πόσα particles/M3 για να εκφράσει, για το συμπιεσμένο αέρα, συνήθως επίσης εξέφρασε από την άποψη πόσων mg/m3 των αναπόφευκτων στερεών υπολειμμάτων, το οποίο καλύπτει την περιεκτικότητα σε πετρέλαιο.
Μολυσματική ταξινόμηση μεγέθους: τα μολυσματικά μόρια, αναφέρονται κυρίως στον καθαρισμό σωληνώσεων, ένδυση, διάβρωση που παράγεται από τα μόρια μετάλλων, ατμοσφαιρικά μόρια αιθάλης, καθώς επίσης και οι μικροοργανισμοί, οι βακτηριοφάγοι και τα moisture-containing σταγονίδια συμπύκνωσης αερίου, κ.λπ., σύμφωνα με το μέγεθος του μεγέθους μορίων του διαιρούνται σε
α) μεγάλα μόρια - μέγεθος μορίων επάνω από 5μm
b) Μόριο - υλική διάμετρος μεταξύ 0.1μm5μm
c) Μόρια εξαιρετικά-μικροϋπολογιστών - μέγεθος μορίων λιγότερο από 0.1μm.
Προκειμένου να ενισχυθεί η εφαρμογή αυτής της τεχνολογίας, για να είναι σε θέση στην αντιληπτική κατανόηση του μεγέθους μορίων και των μονάδων μm, ένα σύνολο συγκεκριμένης θέσης μορίων παρέχεται για την αναφορά
Ο ακόλουθος είναι μια σύγκριση των συγκεκριμένων μορίων
Μέγεθος μορίων ονόματος μεγέθους του /Particle ονόματος μεγέθους του /Particle ονόματος (µm) (µm) µm
Ιός 0.003-0.0 αερόλυμα 0.03-1 με αεροζόλ microdroplet 1-12
Πυρηνικά καύσιμα 0.01-0.1 χρώμα 0.1-6 τέφρα μυγών 1-200
Ο Μαύρος άνθρακα 0.01-0.3 γάλα σε σκόνη 0.1-10 φυτοφάρμακο 5-10
Ρητίνη 0.01-1 σκόνη 5-100 τσιμέντου βακτηριδίων 0.3-30
Καπνός 0.01-1 σκόνη 0.5-5 γύρη 10-15 τσιγάρων άμμου
Σιλικόνη 0.02-0.1 φυτοφάρμακο 0.5-10 ανθρώπινα μαλλιά 50-120
Κρυσταλλωμένο άλας 0.03-0.5 συγκεντρωμένη άμμος 100-1200 θάλασσας σκόνης 1-11 θείου