Η διαδικασία παραγωγής των ηλεκτρονικών αερίων ειδικότητας περιλαμβάνει διάφορες διαδικασίες όπως η σύνθεση, ο καθαρισμός, η πλήρωση, η ανάλυση και η δοκιμή, η μίξη και η αναλογία. Προκειμένου να καλυφθούν οι προς τα κάτω απαιτήσεις κατασκευής ημιαγωγών για το περιεχόμενο αγνότητας και ακαθαρσιών, η διαδικασία καθαρισμού είναι πολύ σημαντική. Ανάλογα με τη σύσταση του προς τα πάνω αερίου σύνθεσης ή του ακατέργαστου αερίου, η απόσταξη χαμηλής θερμοκρασίας ή ο πολυβάθμιος καθαρισμός εκτελείται.
Υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας
Η διαδικασία προετοιμασιών των ηλεκτρονικών ειδικών αερίων μπορεί να διαιρεθεί σε δύο σημαντικούς φραγμούς της προς τα πάνω προετοιμασίας και του καθαρισμού σύνθεσης, ο οποίος ανήκει στη χημική διαδικασία παραγωγής. Το μέγεθος της σωλήνωσης παραγωγής είναι μεγάλο, και δεν υπάρχει καμία ειδική απαίτηση επιπέδων καθαρότητας. Μετά από τον προς τα κάτω καθαρισμό, το προϊόν γεμίζουν με το αέριο και αναμιγνύεται για την προετοιμασία. Η σωλήνωση παραγωγής είναι μικρή και έχει τις απαιτήσεις επιπέδων καθαρότητας. Πρέπει να ανταποκριθεί στην τυποποιημένη προδιαγραφή της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών.
Υψηλές απαιτήσεις σφράγισης
Λόγω της χημικής δραστηριότητάς τους, τα ηλεκτρονικά αέρια ειδικότητας τοποθετούν επίσης τις υψηλές ζητήσεις στα υλικά και τη σφράγιση του συστήματος διαδικασίας παραγωγής. Ακριβώς όπως τις απαιτήσεις της κατασκευής ημιαγωγών, αποτρέπει τη διαρροή διεπαφών που προκαλείται από την εισαγωγή των ακαθαρσιών ή τη διάβρωση των ειδικών αερίων. Το σύστημα μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για να αποτρέψει την εισαγωγή των ακαθαρσιών ή τη διαρροή της διεπαφής που προκαλείται από τη διάβρωση των ειδικών αερίων.
Υψηλός - απαιτήσεις ποιοτικής σταθερότητας
Η ποιότητα των ηλεκτρονικών αερίων ειδικότητας περιλαμβάνει διάφορους δείκτες όπως η περιεκτικότητα σε μόρια αγνότητας και ακαθαρσιών. Οποιαδήποτε αλλαγή στους δείκτες έχει επιπτώσεις στα αποτελέσματα της προς τα κάτω διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Επομένως, προκειμένου να εξασφαλιστεί η συνέπεια των ηλεκτρονικών ειδικών δεικτών προϊόντων αερίου, το σύστημα διαδικασίας προετοιμασιών για να ελέγξει τη σταθερότητα των δεικτών είναι επίσης πολύ σημαντικό.
Λόγω των χημικών απαιτήσεων δραστηριότητας και ποιότητας του EGP, το σύστημα παραγωγής για την προετοιμασία EGP, ειδικά το προς τα κάτω σύστημα καθαρισμού, πρέπει να καλύψει τις απαιτήσεις των υλικών υψηλής αγνότητας, υψηλή σφράγιση, υψηλή καθαρότητα και υψηλός - η ποιοτική συνέπεια, και η κατασκευή των κατασκευασμένων συστατικών πρέπει να ανταποκριθούν στα πρότυπα της βιομηχανίας κατασκευής ημιαγωγών.
Τι αναφέρουμε συνήθως ως η «υψηλή καθαρότητα» είναι θεωρητικά ο καθορισμός της καθαρότητας μιας ουσίας, όπως τα αέρια υψηλής καθαρότητας, χημικές ουσίες υψηλής καθαρότητας, συστήματα διαδικασίας κ.λπ. ή τμήματα συστημάτων διαδικασίας που εφαρμόζονται στις high-purity ουσίες αναφέρεται επίσης ως high-purity, όπως τα high-purity συστήματα και οι high-purity βαλβίδες. Τα ηλεκτρονικά συστήματα προετοιμασιών αερίου ειδικότητας απαιτούν τις συναρμολογήσεις εφαρμογής υψηλής αγνότητας, τις βαλβίδες, και άλλα ρευστά συστατικά, δηλ., τις συναρμολογήσεις και τις βαλβίδες που υποβάλλονται σε επεξεργασία με τα υλικά υψηλής αγνότητας και τις καθαρές διαδικασίες παραγωγής, και είναι δομημένα για τον εύκολο εξαγνισμό και τον καθαρισμό. Με την υψηλή απόδοση σφράγισης. Αυτά τα ρευστά συστατικά σχεδιάζονται για να συναντήσουν την πορεία ροής διαδικασίας της εφαρμογής, χρησιμοποιώντας τις απαιτήσεις εφαρμοσμένης μηχανικής και κατασκευής της βιομηχανίας ημιαγωγών.
Συνδέσεις σωληνώσεων υψηλής αγνότητας
Οι συνδέσεις σφραγίδων προσώπου στολισμάτων μετάλλων VCR και οι αυτόματες συνδέσεις συγκόλλησης άκρης οδηγών χρησιμοποιούνται ευρέως στην απαίτηση των ρευστών απαιτήσεων διαδικασίας αγνότητας συστημάτων λόγω της δυνατότητας να συναντηθεί και η ομαλή μετάβαση της πορείας ροής στη σύνδεση, καμία ζώνη στασιμότητας, και τις υψηλές συνδέσεις σφράγισης performance.VCR διαμορφώνουν μια στενή σφραγίδα επιφάνειας με την εξώθηση ενός σχετικά μαλακού στολίσματος μετάλλων. Η επαναλαμβανόμενη και συνεπής απόδοση σύνδεσης και σφράγισης βεβαιώνεται κάθε φορά που αφαιρείται το παραμορφωμένο στόλισμα και αντικαθίσταται.
Οι σωλήνες είναι ενωμένοι στενά χρησιμοποιώντας ένα αυτόματο τροχιακό σύστημα συγκόλλησης. Ο σωλήνας προστατεύεται από το αέριο υψηλής αγνότητας μέσα και έξω. Το ηλεκτρόδιο βολφραμίου περιστρέφεται κατά μήκος της τροχιάς για υψηλό - ποιοτική συγκόλληση. Η πλήρως αυτοματοποιημένη τροχιακή συγκόλληση λειώνει το σωλήνα χωρίς εισαγωγή άλλων υλικών, επίτευξη έναν υψηλού - η ποιοτική συγκόλληση με επανειλημμένα να ελέγξει το με λεπτούς τοίχους σωλήνα είναι δύσκολο να επιτευχθεί με τη χειρωνακτική συγκόλληση.
Σύνδεση σφραγίδων προσώπου στολισμάτων μετάλλων VCR
Αυτόματη τροχιακή σύνδεση συγκόλλησης άκρης των σωλήνων
Βαλβίδες υψηλής αγνότητας
Η χημική δραστηριότητα των εύφλεκτων, εκρηκτικών, διαβρωτικών, και τοξικών ηλεκτρονικών αερίων ειδικότητας τοποθετεί τις υψηλές ζητήσεις στη σφράγιση της βαλβίδας. Προκειμένου να βελτιωθεί η αξιοπιστία σφράγισης, η απαίτηση των packingless βαλβίδων να αποτραπεί η εξωτερική διαρροή, δηλ., η διαδικασία μεταγωγής του μίσχου βαλβίδων και του σώματος βαλβίδων μεταξύ της σφραγίδας που χρησιμοποιεί τους φυσητήρες μετάλλων ή το διάφραγμα μετάλλων, προκειμένου να αποβληθεί η διαρροή λόγω της παραμόρφωσης σφραγίδων γδαρσίματος και συσκευασίας. Οι φυσητήρας-σφραγισμένες και διάφραγμα-σφραγισμένες βαλβίδες χρησιμοποιούνται συνήθως στα συστήματα διαδικασίας για τις high-purity εφαρμογές λόγω της μεγαλύτερης αξιοπιστίας των σφραγίδων και της ευκολότερης αντικατάστασης καθαρισμού και εκκαθαρίσεων των internals βαλβίδων.
Οι φυσητήρας-σφραγισμένες βαλβίδες είναι μια packingless κατασκευή βαλβίδων βελόνων που επιτρέπει τον αργό κανονισμό ανοίγματος και ροής. Χρησιμοποιημένος για το ηλεκτρονικό αέριο ειδικότητας που γεμίζει με τις απαιτήσεις ροής ασφάλειας ή στα μπουκάλια πηγής προδρόμων με τις υψηλές απαιτήσεις ασφάλειας. Οι σφραγίδες ακρών μίσχων όλος-μετάλλων επιτρέπουν εξαιρετικά - χαμηλές λειτουργούσες θερμοκρασίες και χρησιμοποιούνται για την κρυογόνο ρευστοποίηση των ηλεκτρονικών αερίων ειδικότητας στις δεξαμενές ολοκληρωμένων προϊόντων μετά από την κρυογόνο απόσταξη για τη διοχέτευση με σωλήνες.
Η βαλβίδα σφραγίδων διαφραγμάτων Springless είναι αιφνιδιαστικός-ανοικτή βαλβίδα a1/4» για τη χρήση ως αυτόματα ελεγχόμενη βαλβίδα μετατροπής στη διοχέτευση με σωλήνες παράδοσης. Χρησιμοποιούνται συνήθως στην εξαιρετικά-υψηλός-πίεση, high-purity εφαρμογές λόγω της απλής εσωτερικής πορείας ροής, του μικρού εσωτερικού όγκου, και της ευκολίας τους εξαγνισμού και αντικατάστασης.
Οι διάφραγμα-σφραγισμένες βαλβίδες που κλείνουν μέσω της άκρης μίσχων μπορούν να ανοίξουν αργά και να χρησιμοποιηθούν στις υψηλότερες λειτουργούσες πιέσεις από τις μη-αναπηδημένες διάφραγμα-σφραγισμένες βαλβίδες. Χρησιμοποιούνται ευρέως μπουκάλια πηγής πλήρωσης ή προδρόμων αερίου υψηλής στα ηλεκτρονικά ειδικότητας.
Η δευτεροβάθμια βαλβίδα φυσητήρων σφραγίδων μπορεί όχι μόνο να χρησιμοποιηθεί στα υπερβολικά χαμηλά συστήματα διαδικασίας θερμοκρασίας σε -200 βαθμούς, αλλά και αποτρέπει τη διαρροή των επικίνδυνων μέσων στην ατμόσφαιρα. Συνήθως χρησιμοποιημένος για τα πολύ επικίνδυνα ηλεκτρονικά ειδικά αέρια, όπως silane το γεμίζοντας σύστημα.
Co., ΕΠΕ τεχνολογίας Wofei Shenzhen, με πάνω από 10 έτη εμπειρίας στην παροχή των βιομηχανικών και αερίων ειδικότητας, των υλικών, των συστημάτων εφοδιασμού υγραερίου και της εφαρμοσμένης μηχανικής αερίου για τον ημιαγωγό, οδηγήσεων, DRAM, αγορές tft-LCD, μπορούμε να παρέχουμε σε σας τα απαραίτητα υλικά για να ωθήσουμε τα προϊόντα σας στην πρώτη γραμμή της βιομηχανίας. Μπορούμε όχι μόνο να παρέχουμε ένα ευρύ φάσμα των βαλβίδων και των συναρμολογήσεων για τα ηλεκτρονικά αέρια ειδικότητας ημιαγωγών, αλλά μπορούμε επίσης να σχεδιάσουμε τη διοχέτευση με σωλήνες αερίου και την εγκατάσταση εξοπλισμού για τους πελάτες μας. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ανάγκες σε αυτήν την περιοχή, παρακαλώ μας ελάτε σε επαφή με σε 0927023443.