Καθώς η αγορά των ημιαγωγών μεγαλώνει, τα πρότυπα για την καθαρότητα και την ακρίβεια γίνονται πιο αυστηρά.Ένας από τους καθοριστικούς παράγοντες για την ποιότητα της κατασκευής ημιαγωγών είναι τα αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασίαΤα αέρια αυτά διαδραματίζουν πολλούς ρόλους στη διαδικασία παραγωγής, μεταξύ των οποίων:
Έλεγχος διαδικασιών ακριβείας
Πρόληψη της μόλυνσης
Βελτίωση των μεταλλουργικών ιδιοτήτων
Για την αποτελεσματική εκτέλεση των καθηκόντων αυτών, το σύστημα εφοδιασμού και διανομής φυσικού αερίου πρέπει να είναι αποδοτικό.Ο σχεδιασμός των συστημάτων επεξεργασίας αερίου που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών πρέπει να υποστηρίζεται από ισχυρά εξαρτήματα και εξατομικευμένα σύνολα για να εξασφαλίζεται αξιόπιστη και υψηλής ποιότητας παραγωγή ημιαγωγών..
Αέρια που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών
Η διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών απαιτεί τη χρήση διαφορετικών αερίων σε διαφορετικά στάδια της διαδικασίας.
Ενώ τα κοινά αέρια, όπως το άζωτο, το υδρογόνο, το άργον και το ήλιο, μπορούν να χρησιμοποιηθούν στην καθαρή τους μορφή, ορισμένες διαδικασίες μπορεί να απαιτούν ειδικά μείγματα.Τα αλογονίδια και οι υδρογονάνθρακες είναι μερικά από τα ειδικά αέρια που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγώνΠολλά από αυτά τα αέρια μπορεί να είναι επικίνδυνα ή πολύ αντιδραστικά, δημιουργώντας προκλήσεις στην επιλογή και το σχεδιασμό των εξαρτημάτων για τα συστήματα αερίων.
Εδώ είναι μερικά παραδείγματα:
Το υδρογόνο και το ήλιο μπορούν εύκολα να διαρρεύσουν από σωλήνες και συστήματα προσαρμογής λόγω του μικρού ατομικού μεγέθους και βάρους τους.
Τα σιλάνια είναι εξαιρετικά εύφλεκτα και μπορούν να αναφλέξουν αυθόρμητα (αυτοφωτίζονται) στον αέρα.
Το διφθορίδιο του αζώτου που χρησιμοποιείται στα στάδια της εναπόθεσης, της χαρακτικής και του καθαρισμού του θαλάμου γίνεται ένα ισχυρό αέριο θερμοκηπίου όταν διαρρέει στο περιβάλλον.
Το φθοριούχο υδρογόνο (αέριο χαρακτικής) είναι εξαιρετικά διαβρωτικό για τους μεταλλικούς σωλήνες.
Το τριμεθυλογάλλιο και η αμμωνία μπορεί να είναι δύσκολο να χειριστούν - μικρές διακυμάνσεις στις απαιτήσεις θερμοκρασίας και πίεσης τους μπορούν να επηρεάσουν τη διαδικασία αποθέματος.
Ο έλεγχος των συνθηκών της διαδικασίας για την ελαχιστοποίηση των αρνητικών επιπτώσεων αυτών των αερίων πρέπει να αποτελεί πρωταρχική προτεραιότητα κατά τον σχεδιασμό του συστήματος.Είναι εξίσου σημαντικό να χρησιμοποιούνται τα υψηλότερης ποιότητας εξαρτήματα όπως βαλβίδες διαφράγματος AFK κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής.
Αντιμετώπιση προκλήσεων σχεδιασμού συστημάτων
Τα αέρια της κατηγορίας των ημιαγωγών είναι στις περισσότερες περιπτώσεις υψηλής καθαρότητας και παρέχουν αδρανείς συνθήκες ή ενισχύουν τις αντιδράσεις σε διάφορα στάδια της διαδικασίας παραγωγής, όπως τα αέρια χαρακτικής και εναπόθεσης.Η διαρροή ή η μόλυνση αυτών των αερίων μπορεί να έχει αρνητικές επιπτώσειςΣυνεπώς, it is critical for the system components used to be hermetically sealed and corrosion resistant as well as have a smooth surface finish (electrolytic polishing) to ensure that there is no possibility of contamination and that an extremely high level of cleanliness can be maintained.
Επιπλέον, ορισμένα από αυτά τα αέρια μπορούν να θερμαίνονται ή να ψύχονται για να επιτευχθούν οι επιθυμητές συνθήκες διαδικασίας.που είναι κρίσιμο για την αποτελεσματική λειτουργία του τελικού προϊόντος.
Από την είσοδο της πηγής μέχρι το σημείο χρήσης, η ευρεία γκάμα των συστατικών της AFK υποστηρίζει την εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, θερμοκρασία,Ελέγχος πίεσης και ροής που απαιτείται σε καθαρά δωμάτια ημιαγωγών και θάλαμους κενού.
Σχεδιασμένα συστήματα με ποιοτικά συστατικά σε κατασκευές ημιαγωγών
Ο ρόλος των εξαρτημάτων ποιότητας και της βελτιστοποίησης του σχεδιασμού είναι κρίσιμος για τον ακριβή έλεγχο και την ασφαλή κατασκευή των ημιαγωγών.Τα χρησιμοποιούμενα εξαρτήματα πρέπει να είναι ανθεκτικά και χωρίς διαρροές, ώστε να ανταποκρίνονται στις διαφορετικές συνθήκες της διαδικασίας που απαιτούνται στα διάφορα στάδια της κατασκευής.Οι βαλβίδες, τα εξαρτήματα, οι ρυθμιστές, οι σωληνώσεις και οι θραύσεις υψηλής ποιότητας της AFK χαρακτηρίζονται από τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:
Υψηλής καθαρότητας
Σφραγίδες χωρίς διαρροή
Απομόνωση με ελεγχόμενη θερμοκρασία
Ρυθμισμός πίεσης
Αντίσταση στη διάβρωση
Επεξεργασία ηλεκτρολυτικής γυάλωσης