Τα υπερβολιά υψηλός αέρια αγνότητας είναι ουσιαστικά σε όλη τη αλυσίδα εφοδιασμού ημιαγωγών. Στην πραγματικότητα, για τα χαρακτηριστικά υπέροχα, high-purity αέρια είναι η μεγαλύτερη υλική δαπάνη μετά από το.B4, O,01.NOMADJ.B8, E,27 πυρίτιο το ίδιο. Αμέσως μετά τη σφαιρική έλλειψη τσιπ, η βιομηχανία επεκτείνεται γρηγορότερα από πάντα - και η ζήτηση για τα αέρια υψηλής αγνότητας αυξάνεται.
Τα ο συνηθέστερα χρησιμοποιημένα μαζικά αέρια στην κατασκευή ημιαγωγών είναι άζωτο, ήλιο, υδρογόνο και αργό.
Άζωτο
Το άζωτο αποτελεί 78% της ατμόσφαιράς μας και είναι εξαιρετικά άφθονο. Συμβαίνει επίσης να είναι χημικά αδρανές και non-conductive. Κατά συνέπεια, το άζωτο έχει βρεί τον τρόπο του σε διάφορες βιομηχανίες ως οικονομικώς αποδοτικό αδρανές αέριο.
Η βιομηχανία ημιαγωγών είναι σημαντικός καταναλωτής του αζώτου. Σύγχρονες εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών αναμένονται για να χρησιμοποιήσουν μέχρι 50.000 κυβικούς μετρητές του αζώτου ανά ώρα. Στην κατασκευή ημιαγωγών, το άζωτο ενεργεί ως γενικού σκοπού inerting και εξαγνισμού αέριο, που προστατεύει τις ευαίσθητες γκοφρέτες πυριτίου από το αντιδραστικές οξυγόνο και την υγρασία στον αέρα.
Ήλιο
Το ήλιο είναι ένα αδρανές αέριο. Αυτό σημαίνει ότι, όπως το άζωτο, ήλιο είναι χημικά αδρανής - αλλά έχει επίσης το προστιθέμενο πλεονέκτημα της υψηλής θερμικής αγωγιμότητας. Αυτό είναι ιδιαίτερα χρήσιμο στην κατασκευή ημιαγωγών, επιτρέποντας σε τον για να διευθύνει αποτελεσματικά τη θερμότητα μακρυά από τις υψηλής ενέργειας διαδικασίες και τη βοήθεια τους προστατεύστε από τη θερμική ζημία και τις ανεπιθύμητες χημικές αντιδράσεις.
Υδρογόνο
Το υδρογόνο χρησιμοποιείται εκτενώς σε όλη τη διαδικασία παραγωγής ηλεκτρονικής, και η παραγωγή ημιαγωγών δεν είναι καμία εξαίρεση. Ιδίως, το υδρογόνο χρησιμοποιείται για:
Ανόπτηση: Οι γκοφρέτες πυριτίου θερμαίνονται χαρακτηριστικά στις υψηλές θερμοκρασίες και δροσίζονται αργά στην επισκευή (ανοπτήστε) η δομή κρυστάλλου. Το υδρογόνο χρησιμοποιείται για να μεταφέρει τη θερμότητα ομοιόμορφα στην γκοφρέτα και για να βοηθήσει στην επανοικοδόμηση της δομής κρυστάλλου.
Επιταξία: Το υπερβολικα υψηλός υδρογόνο αγνότητας χρησιμοποιείται ως μειώνοντας πράκτορας στην κρυσταλλική απόθεση των υλικών ημιαγωγών όπως το πυρίτιο και το γερμάνιο.
Απόθεση: Το υδρογόνο μπορεί να ναρκωθεί στις ταινίες πυριτίου για να καταστήσει την ατομική δομή τους πιό διαταραγμένη, βοηθώντας να αυξήσει την ειδική αντίσταση.
Πλάσμα που καθαρίζει: Το πλάσμα υδρογόνου είναι ιδιαίτερα αποτελεσματικό στην αφαίρεση της μόλυνσης κασσίτερου από τις πηγές φωτός που χρησιμοποιούνται στη UV λιθογραφία.
Αργό
Το αργό είναι ένα άλλο ευγενές αέριο, έτσι εκθέτει την ίδια χαμηλή ικανότητα αμέσου αντιδράσεως με το άζωτο και το ήλιο. Εντούτοις, η χαμηλή ενέργεια ιονισμού του αργού το καθιστά χρήσιμο στις εφαρμογές ημιαγωγών. Λόγω της σχετικής ευκολίας ιονισμού του, το αργό χρησιμοποιείται συνήθως όπως το αρχικό αέριο πλάσματος για χαράζει και αντιδράσεις απόθεσης στην κατασκευή ημιαγωγών. Επιπλέον, το αργό χρησιμοποιείται επίσης excimer στα λέιζερ για τη UV λιθογραφία.
Γιατί η αγνότητα πειράζει
Χαρακτηριστικά, οι πρόοδοι στην τεχνολογία ημιαγωγών έχουν επιτευχθεί μέσω του ξελεπιάσματος μεγέθους, και η νέα γενιά της τεχνολογίας ημιαγωγών χαρακτηρίζεται από τα μικρότερα μεγέθη χαρακτηριστικών γνωρισμάτων. Αυτό παράγει τα πολλαπλάσια οφέλη: περισσότερες κρυσταλλολυχνίες σε έναν δεδομένο όγκο, βελτιωμένα ρεύματα, μια πιό μικρή κατανάλωση ισχύος και μια γρηγορότερη μετατροπή.
Εντούτοις, καθώς το κρίσιμο μέγεθος μειώνεται, οι συσκευές ημιαγωγών γίνονται όλο και περισσότερο περίπλοκες. Σε έναν κόσμο όπου η θέση των μεμονωμένων ατόμων πειράζει, τα κατώτατα όρια ανοχής ελαττωμάτων είναι πολύ σφιχτά. Κατά συνέπεια, οι σύγχρονες διαδικασίες ημιαγωγών απαιτούν τα αέρια διαδικασίας με την υψηλότερη πιθανή αγνότητα.
WOFLY είναι μια επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας που ειδικεύεται στην εφαρμοσμένη μηχανική συστημάτων εφαρμογής αερίου: το ηλεκτρονικό ειδικό σύστημα αερίου, το σύστημα κυκλωμάτων εργαστηριακού αερίου, το βιομηχανικό συγκεντρωμένο σύστημα εφοδιασμού υγραερίου, το μαζικό σύστημα αερίου (υγρό), το αέριο υψηλής καθαρότητας και η ειδική διαδικασία δηλητηριάζουν με αέρια το δευτεροβάθμιο σύστημα σωληνώσεων, χημικό σύστημα παράδοσης, καθαρό υδάτινο σύστημα για να παρέχουν ένα πλήρες σύνολο εφαρμοσμένης μηχανικής και τεχνικών υπηρεσιών και βοηθητικών προϊόντων από την τεχνική διαβούλευση, το γενικό προγραμματισμό, το σχέδιο συστημάτων, που επιλέγουν τον εξοπλισμό, τα προκατασκευασμένα συστατικά, την εγκατάσταση και την κατασκευή της περιοχής προγράμματος, τη γενική δοκιμή συστημάτων, τη συντήρηση και άλλα ενισχυτικά προϊόντα με έναν ενσωματωμένο τρόπο.