Η χρήση αερίων στη βιομηχανία ημιαγωγών χρονολογείται από τις αρχές της δεκαετίας του 1950 έως τη δεκαετία του 1960.τα αέρια χρησιμοποιούνται κυρίως για τον καθαρισμό και την προστασία των υλικών ημιαγωγών, ώστε να εξασφαλίζεται η καθαρότητά τους και η ποιότητά τουςΑνάμεσα στα πιο συνηθισμένα χρησιμοποιούμενα αέρια είναι το άζωτο και το υδρογόνο.
Με την εξέλιξη της τεχνολογίας των ημιαγωγών και τη συνεχή βελτίωση των διαδικασιών παραγωγής, η ζήτηση για αέρια αυξήθηκε.η εφαρμογή αερίων σε βασικές διεργασίες όπως η χαρακτική και η εναπόθεση λεπτών ταινιών αυξήθηκε σταδιακά, και φθοριούχα αέρια (π.χ. SF6) και οξυγόνο έγιναν κοινά χρησιμοποιούμενα αέρια χαρακτικής και εναπόθεσης.Το 1980 σημειώθηκε μια περαιτέρω αύξηση της ζήτησης αερίων με την ανάπτυξη των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και την αύξηση της ζήτησης για αυτά.Το υδρογόνο χρησιμοποιήθηκε ευρέως στη διαδικασία κατασκευής, συμπεριλαμβανομένης της αναψίξεως υδρογόνου και της εναπόθεσης ατμού υδρογόνου.Η ζήτηση για αέρια υψηλής καθαρότητας και ειδικά αέρια αυξήθηκε καθώς τα μεγέθη των συσκευών ημιαγωγών συνέχισαν να συρρικνώνονται και εισήχθησαν νέες διαδικασίες.Για παράδειγμα, η εφαρμογή της ακραίας υπεριώδους λιθογραφίας (EUV) απαιτεί τη χρήση αερίων εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, όπως αζώτο και υδρογόνο.
Το ημιαγωγικό αέριο συνεχίζει να αυξάνεται με την ανάπτυξη των σχετικών προϊόντων που οδηγούνται από όλο και περισσότερα προϊόντα αποκαλύπτονται, ενώ το αέριο ανήκει επίσης στην πηγή του κινδύνου,Έτσι τα προϊόντα που χρησιμοποιούνται για την αποσυμπίεση αερίων, τα προϊόντα ανίχνευσης αερίων και τα προϊόντα πρόληψης διαρροής αερίων έχουν αναδυθεί, όπως ρυθμιστές πίεσης, βαλβίδες αερίου, μετρητές πίεσης αερίου, ανιχνευτές διαρροής αερίου κλπ. και οι ρόλοι τους είναι οι ακόλουθοι:
Ρυθμιστές πίεσης: Οι ρυθμιστές πίεσης είναι συσκευές που χρησιμοποιούνται για τον έλεγχο της πίεσης του αερίου.Οι ρυθμιστές πίεσης λαμβάνουν μια εισροή αερίου υψηλής πίεσης και σταθεροποιούν την πίεση του αερίου εξόδου ρυθμίζοντας την βαλβίδα ώστε να ανταποκρίνεται σε ειδικές απαιτήσεις εφαρμογήςΟι ρυθμιστές πίεσης χρησιμοποιούνται ευρέως σε τομείς όπως η βιομηχανία, η κατασκευή και τα εργαστήρια, καθώς και στη βιομηχανία ημιαγωγών, μεταξύ άλλων.για τη διασφάλιση της σταθερότητας και της ασφάλειας του εφοδιασμού αερίου.
Κεφάλαια αερίου:Οι βαλβίδες αερίου χρησιμοποιούνται για τον έλεγχο της ροής των αερίων και για το κλείσιμο των διαδρόμων αερίου.συμπεριλαμβανομένων των χειροκίνητων βαλβίδωνΧρησιμοποιούνται ευρέως στα συστήματα αερίων για τον έλεγχο της ροής, της πίεσης και του ρυθμού ροής των αερίων.
Μετρητές πίεσης αερίων:Οι μετρητές πίεσης αερίων χρησιμοποιούνται για τη μέτρηση του επιπέδου πίεσης ενός αερίου.Συνήθως τοποθετούνται σε κρίσιμες θέσεις στα συστήματα αερίου για την παρακολούθηση των αλλαγών πίεσης και τη διασφάλιση ότι βρίσκονται εντός των ασφαλών ορίωνΟι μετρητές πίεσης αερίων χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία, τη μεταποίηση και τα εργαστήρια, ενώ η βιομηχανία ημιαγωγών έχει επίσης εμπλακεί.
Ανιχνευτές διαρροής αερίου:Οι ανιχνευτές διαρροής αερίου χρησιμοποιούνται για την ανίχνευση διαρροών σε συστήματα αερίου.Οι ανιχνευτές διαρροής αερίου χρησιμοποιούνται ευρέως στον βιομηχανικό τομέα., χημικές, πετρελαϊκές και φυσικές εφαρμογές, καθώς και τη βιομηχανία ημιαγωγών.