Βαθιά Εξειδίκευση σε Συστήματα Ειδικών Αερίων για Εξοπλισμό Φούρνων Ημιαγωγών

Ως ακρογωνιαίος λίθος του τομέα της υψηλής τεχνολογίας, η βιομηχανία των ημιαγωγών εξαρτάται από εξοπλισμό ακριβείαςκαι οι φούρνοι κατάθεσης επίστρωσης SiC/TaC είναι κρίσιμοι για την προετοιμασία υλικού και τη συσκευασία συσκευήςΗ σταθερότητα και η ακρίβεια αυτών των συστημάτων εξαρτώνται σε μεγάλο βαθμό από την παράδοση ειδικών αερίων εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας.παρέχει εξατομικευμένες λύσεις διανομής και εφοδιασμού αερίου προσαρμοσμένες σε κάθε τύπο φούρνου.

01Φούρνοι κρούσης κρυστάλλων

Η ανάπτυξη κρυστάλλων απαιτεί εξαιρετική καθαρότητα αερίου ̇ ακόμη και ίχνη ακαθαρσιών μπορούν να προκαλέσουν ελαττώματα.Ra ≤ 10 μin) για την ελαχιστοποίηση της προσρόφησης σωματιδίωνΟλόκληρη η κατασκευή πραγματοποιείται σε περιβάλλον καθαρού δωματίου από προσωπικό με πλήρη ένδυση καθαρού δωματίου.και καθαρισμός αζώτου υψηλής καθαρότηταςΗ τροχιακή αυτογενής συγκόλληση TIG με προστασία από αργόνιο εξασφαλίζει αδιάβροχες και απαλλαγμένες από μόλυνση συνδέσεις.Διαχειριστές ροής μάζας υψηλής ακρίβειας με ευφυή ρύθμιση της πίεσης και ενσωματωμένες μονάδες καθαρισμού αερίων διατηρούν την εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα που απαιτείται για συνεπή ανάπτυξη κρυστάλλων.

02Φούρνοι αποθέσεως ατμών CVI

Οι φούρνοι CVI που λειτουργούν σε θερμοκρασίες έως 2.100°C απαιτούν εξαιρετική σταθερότητα και ομοιόμορφη ροή αερίων.Η Wofly σχεδιάζει ανθεκτικά στη διάβρωση συστήματα σωλήνων με στήριξη από χάλυβα άνθρακα (που καλύπτεται με σκόνη) ή από ανοξείδωτο χάλυβα ̇ μηχανικά κομμέναΗ ολοκληρωμένη διαδρομή αερίου συντομεύει τις διαδρομές παράδοσης και μειώνει το χρόνο διαμονής,ενώ τα συστήματα ελέγχου ροής ακριβείας ρυθμίζουν με ακρίβεια πρόδρομα όπως το προπυλένιο και το μεθάνιο για να ταιριάζουν με τις περίπλοκες καμπύλες διαδικασίας CVIΌλες οι σφραγίδες χρησιμοποιούν σφραγίδες από ανοξείδωτο χάλυβα ή νικέλιο. Οι μη μεταλλικές σφραγίδες απαγορεύονται αυστηρά.

03Φούρνοι αποθέσεως επίστρωσης SiC & TaC

Αυτοί οι φούρνοι λειτουργούν σε θερμοκρασία 1.500-2.000 °C με επιθετικά πρόδρομα αέρια, συμπεριλαμβανομένου του τετραχλωριούχου χαφνίου, του πενταχλωριούχου ταντάλου και του μεθανίου.Η Wofly χρησιμοποιεί σωλήνες 316L SS βαθμίδας EP με μεταλλικά εξαρτήματα σφραγίδας προσώπου VCR για την εξάλειψη νεκρού χώρου και τη δυνατότητα ενδελεχής καθαρισμούΕιδικές μονάδες ατμοποίησης χειρίζονται τα πρόδρομα σε σκόνη (TaCl5, HfCl4) με ευφυή έλεγχο της αναλογίας για ακριβή αντιστοιχία ροής μεθανίου/υδρογόνου (π.χ. CH4 180 ml/min, H2 900 ml/min).Ενσωματωμένα συστήματα ανίχνευσης αερίων GDS με σύνδεση αντιμετώπισης έκτακτης ανάγκης παρέχουν παρακολούθηση της ασφάλειας σε πραγματικό χρόνο.

Υπηρεσία ενός σταθμού κύκλου ζωής Η υπηρεσία της Wofly καλύπτει ολόκληρο τον κύκλο ζωής του έργου: έρευνα χώρου και ανάλυση διαδικασιών, σχεδιασμός προσαρμοσμένου συστήματος, προκατασκευή (μέγιστο 12 m συγκολλημένες διατομές,Υποστηρίζεται κάθε 3 μέτρα κατά τη μεταφορά)Κάθε σύστημα είναι κατασκευασμένο σύμφωνα με τα πρότυπα της βιομηχανίας ημιαγωγών.

Καθώς η τεχνολογία των ημιαγωγών εξελίσσεται, η Wofly παραμένει αφοσιωμένη σε έξυπνες, ακριβείς λύσεις ειδικών αερίων ∙ βοηθώντας τους πελάτες σε όλο τον κόσμο να επιτύχουν ασφαλέστερες, πιο αξιόπιστες,και εργασίες με φούρνους υψηλών επιδόσεων.