Τεχνολογία CVD: Το Σημείο της Έρευνας και Ανάπτυξης και της Παραγωγής Νέων Υλικών

Εισαγωγή

Από το εργαστήριο έως τη γραμμή μαζικής παραγωγής, ο εξοπλισμός CVD αποτελεί την κεντρική πλατφόρμα για την κατασκευή νέων υλικών. Από τα τσιπ στα smartphones έως τις μονάδες ισχύος στα οχήματα νέας ενέργειας, και από τα φωτοβολταϊκά κύτταρα έως τις οπτικές επιστρώσεις, όλα αυτά τα προϊόντα βασίζονται στην ίδια τεχνολογία – την εναπόθεση χημικών ατμών (CVD). Αυτή η διαδικασία είναι υπεύθυνη για την ανάπτυξη λειτουργικών λεπτών υμενίων σε ατομικό επίπεδο και είναι η βασική διαδικασία που επιτρέπει στα νέα υλικά να μεταβούν από το εργαστήριο στη μαζική παραγωγή.

01 Τι είναι η τεχνολογία CVD;

Η τεχνολογία CVD είναι μια διαδικασία κατά την οποία εισάγονται αεριώδη πρόδρομα υλικά σε θάλαμο αντίδρασης, όπου υφίστανται χημικές αντιδράσεις κατά την επαφή με την θερμαινόμενη επιφάνεια του υποστρώματος για την εναπόθεση ενός στερεού υμενίου ή επίστρωσης. Σε αντίθεση με τις παραδοσιακές μεθόδους επίστρωσης, η διαδικασία σχηματισμού υμενίου στην CVD προχωρά άτομο προς άτομο, επιτρέποντας ακριβή έλεγχο της σύνθεσης, του πάχους και της δομής του υμενίου. Δεν είναι το ίδιο με την φυσική εναπόθεση ατμών (PVD): η PVD βασίζεται σε φυσικά μέσα για τη μεταφορά υλικού, ενώ η CVD βασίζεται σε χημικές αντιδράσεις για την παραγωγή υλικού.

Οι γραμμές παραγωγής εναπόθεσης λεπτών υμενίων CVD για ημιαγωγούς είναι ένα χαρακτηριστικό παράδειγμα μεγάλης κλίμακας εφαρμογής της CVD.

02 Γιατί η CVD είναι κλειδί για την Έρευνα, Ανάπτυξη και Παραγωγή Νέων Υλικών;

1. Υψηλή Ακρίβεια

Ακρίβεια σε ατομικό επίπεδο. Η CVD μπορεί να εναποθέσει υμένια πάχους μόλις λίγων νανομέτρων, καλύπτοντας τις αυστηρές απαιτήσεις για ομοιομορφία πάχους υμενίου σε συσκευές ημιαγωγών.

2. Υψηλή Καθαρότητα

Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα. Λαμβάνοντας ως παράδειγμα πρόδρομα υλικά ηλεκτρονικής ποιότητας: η καθαρότητα πρέπει να φτάνει στο εύρος 99,9999%, και ο έλεγχος των ακαθαρσιών καθορίζει άμεσα την απόδοση των δίσκων.

3. Μαζική Παραγωγή

Η μαζική παραγωγή είναι εφικτή. Υλικά αιχμής όπως το γραφένιο, τα υμένια διαμαντιού, το καρβίδιο του πυριτίου και το νιτρίδιο του γαλλίου βασίζονται όλα στην CVD ως κύρια διαδρομή κατασκευής τους. Από δείγματα εργαστηρίου 2 ιντσών έως δίσκους μαζικής παραγωγής 12 ιντσών, η CVD διαθέτει την τεχνική ικανότητα να γεφυρώσει το χάσμα μεταξύ Ε&Α και μαζικής παραγωγής. Για αυτόν τον λόγο, η CVD χρησιμοποιείται ευρέως σε τομείς όπως τα ολοκληρωμένα κυκλώματα, οι οθόνες TFT-LCD, τα φωτοβολταϊκά, τα LED και οι προηγμένες επιστρώσεις, καθιστώντας την τεχνολογία υποδομής για την εκβιομηχάνιση νέων υλικών.

03 Η διαδικασία CVD βασίζεται σε ένα σύστημα ειδικών αερίων

                                                               Μηχανική Συστημάτων Ειδικών Αερίων Shenzhen Wofly Technology

Οι αντιδραστικοί παράγοντες που χρησιμοποιούνται στην CVD είναι ειδικά αέρια, όπως η σιλάνη (SiH₄), η αμμωνία (NH₃), το υποξείδιο του αζώτου (N₂O) και το εξαφθοροαιθάνιο (C₂F₆). Η καθαρότητα των αερίων, η σταθερότητα των ρυθμών ροής τους και ο έλεγχος της πίεσης καθορίζουν άμεσα την ποιότητα του εναποτεθειμένου υμενίου και την ασφάλεια της παραγωγής. Ένα πλήρες σύστημα ειδικών αερίων αποτελείται από ένα ντουλάπι ειδικών αερίων (GC), σωληνώσεις υψηλής καθαρότητας, βαλβίδες και εξαρτήματα, ανίχνευση διαρροών και επεξεργασία αερίων εξαγωγής (scrubber): Αφού ρυθμιστεί η πίεση και γίνει αλληλοσύνδεση εντός του ντουλαπιού ειδικών αερίων, τα αέρια από τους κυλίνδρους παραδίδονται στον εξοπλισμό επεξεργασίας μέσω σωληνώσεων υψηλής καθαρότητας. Στη συνέχεια, τα αέρια εξαγωγής της αντίδρασης επεξεργάζονται από τον scrubber και απορρίπτονται σύμφωνα με τα κανονιστικά πρότυπα. Δεδομένου ότι αέρια όπως η σιλάνη είναι εύφλεκτα και εκρηκτικά, το σύστημα πρέπει να είναι εξοπλισμένο με συναγερμούς διαρροής, αυτόματη διακοπή έκτακτης ανάγκης και ολοκληρωμένες δυνατότητες εξαερισμού.

Ντουλάπι Ειδικών Αερίων (GC)

Προϊόντα Ντουλαπιών Ειδικών Αερίων Shenzhen Wofly Technology

Βαλβίδες και Εξαρτήματα / Σωληνώσεις Υψηλής Καθαρότητας

Σωληνώσεις Συναρμολόγησης Βαλβίδων VMB Shenzhen Wofly Technology

Επεξεργασία Αερίων Εξαγωγής (Scrubber)

Εξοπλισμός Επεξεργασίας Εξαγωγής Shenzhen Wofly Technology

Wofly Technology

Παροχή υπηρεσιών μηχανικής συστημάτων ειδικών αερίων για τη βιομηχανία CVD

Το πλήρως αυτόματο ντουλάπι ειδικών αερίων (GC) της Wofly Technology έχει σχεδιαστεί για την ασφαλή και σταθερή παροχή ειδικών αερίων υψηλής καθαρότητας.

Ιδρύθηκε το 2011, η Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. είναι μια επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας εθνικού επιπέδου και μια επιχείρηση “Little Giant” αναγνωρισμένη στο πλαίσιο του προγράμματος Εξειδικευμένων, Λεπτομερών, Διακριτών και Καινοτόμων. Η εταιρεία κατέχει εθνική επαγγελματική άδεια ανάθεσης για μηχανολογικές και ηλεκτρολογικές εγκαταστάσεις κτιρίων και ειδικεύεται στη μηχανική συστημάτων εφαρμογής αερίων. Η Wofly Technology παρέχει ολοκληρωμένες υπηρεσίες για τη βιομηχανία που σχετίζεται με την CVD, που κυμαίνονται από τεχνική συμβουλευτική, συνολικό σχεδιασμό, σχεδιασμό συστημάτων, επιλογή εξοπλισμού και προκατασκευασμένα εξαρτήματα έως επιτόπια εγκατάσταση και δοκιμές συστημάτων. Το πεδίο δραστηριοτήτων της καλύπτει συστήματα σωληνώσεων ηλεκτρονικών ειδικών αερίων, συστήματα παροχής αερίων εργαστηρίων, κεντρικά συστήματα παροχής αερίων, συστήματα χύδην αερίων, δευτερεύουσες σωληνώσεις για αέρια υψηλής καθαρότητας και ειδικά αέρια διεργασιών, καθώς και συστήματα μεταφοράς χημικών και καθαρού νερού.

Μηχανική Συστημάτων Ειδικών Αερίων Shenzhen Wofly Technology

Το πλήρως αυτόματο ντουλάπι ειδικών αερίων (GC) της Wofly Technology, που αναπτύχθηκε ανεξάρτητα, διαθέτει PLC ως πυρήνα ελέγχου και είναι εξοπλισμένο με συστήματα ασφαλείας, συναγερμούς διαρροής και λειτουργίες αυτόματης διακοπής. Το σύστημα επεξεργασίας αερίων εξαγωγής Scrubber διασφαλίζει τη συμμόρφωση με τους κανονισμούς κατά την απόρριψη των αερίων εξαγωγής της διεργασίας. Οι βαλβίδες και τα εξαρτήματα της εταιρείας με την επωνυμία Aofei Ke AFK® και Afklok® πληρούν τις απαιτήσεις για τη μεταφορά μέσων υψηλής καθαρότητας. Οι λύσεις της Wofly Technology έχουν αναπτυχθεί σε βιομηχανίες όπως ημιαγωγοί, TFT-LCD, φωτοβολταϊκά, βιοφαρμακευτικά και ερευνητικά ιδρύματα. Το σύστημα επεξεργασίας αερίων εξαγωγής Scrubber παρέχει την τελική διασφάλιση για περιβαλλοντική συμμόρφωση στις διαδικασίες CVD.