Ο εξοπλισμός επεξεργασίας αερίου ουρών μπορεί να χειριστεί τα αέρια που χρησιμοποιούνται στις διαδικασίες χαρακτικής και τις διαδικασίες απόθεσης χημικού ατμού στον ημιαγωγό, το υγρό κρύσταλλο, και τις βιομηχανίες ηλιακής ενέργειας, συμπεριλαμβανομένου SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, κοβάλτιο, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, Ν2Ο, και ούτω καθεξής.
Μέθοδος επεξεργασίας αερίου εξάτμισης
Σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά της επεξεργασίας αερίου εξάτμισης, η επεξεργασία μπορεί να διαιρεθεί σε τέσσερις τύπους επεξεργασιών:
1. Τύπος πλύσης νερού (επεξεργασία των διαβρωτικών αερίων)
2. Οξειδωτικός τύπος (εξετάζοντας τα καύσιμα και τοξικά αέρια)
3. Προσρόφηση (σύμφωνα με τον τύπο υλικού προσρόφησης για να εξετάσει το αντίστοιχο αέριο εξάτμισης).
4.Plasma τύπος καύσης (όλοι οι τύποι αερίων εξάτμισης μπορούν να αντιμετωπιστούν).
Κάθε τύπος επεξεργασίας έχει τα πλεονεκτήματα και τα μειονεκτήματά του καθώς επίσης και το πεδίο εφαρμογής του. Όταν η μέθοδος επεξεργασίας είναι πλύση νερού, ο εξοπλισμός είναι φτηνός και απλός, και μπορεί μόνο να χειριστεί τα υδροδιαλυτά αέρια η σειρά εφαρμογής του ηλεκτρικού τύπου πλύσης νερού είναι υψηλότερη από αυτή του τύπου πλύσης νερού, αλλά το κόστος λειτουργίας είναι υψηλό ο ξηρός τύπος έχει την καλή αποδοτικότητα επεξεργασίας, και δεν ισχύει στη ροή αερίου που είναι εύκολο να φραχτεί ή έρευσε.
Οι χημικές ουσίες και τα υποπροϊόντα τους που χρησιμοποιούνται συνήθως στη βιομηχανία ημιαγωγών μπορούν να ταξινομηθούν σύμφωνα με τις χημικές ιδιότητές τους και τις διαφορετικές σειρές τους:
1. Εύφλεκτα αέρια όπως SiH4H2, κ.λπ.
2. Τοξικά αέρια όπως AsH3, PH3, κ.λπ.
3. Διαβρωτικά αέρια όπως το HF, το HCL, κ.λπ.
4. Αέρια θερμοκηπίων όπως CF4, NF3, κ.λπ.
Δεδομένου ότι τα ανωτέρω τέσσερα αέρια είναι επιβλαβή στο περιβάλλον ή το ανθρώπινο σώμα, πρέπει να αποτρέψει την άμεση εκπομπή του στην ατμόσφαιρα, έτσι οι γενικές εγκαταστάσεις ημιαγωγών εγκαθίστανται με ένα μεγάλο συγκεντρωμένο σύστημα επεξεργασίας αερίου εξάτμισης, αλλά αυτό το σύστημα είναι μόνο εξάτμιση τριψίματος νερού, έτσι η αίτησή της περιορίζεται στα μεγάλης απόστασης υδροδιαλυτά αέρια, και δεν μπορεί να εξετάσει το συνεχώς μεταβαλλόμενο και λεπτό τμήμα του αερίου εξάτμισης διαδικασίας ημιαγωγών. Επομένως, είναι απαραίτητο να επιλεχτεί και να ταιριαχτεί με ο αντίστοιχος εξοπλισμός επεξεργασίας αερίου εξάτμισης σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά αερίου που προέρχονται από κάθε διαδικασία προκειμένου να λυθεί το πρόβλημα αερίου εξάτμισης με έναν μικρό τρόπο. Δεδομένου ότι η περιοχή εργασίας είναι συνήθως μακρυά από το κεντρικό σύστημα επεξεργασίας αερίου εξάτμισης, συχνά οφειλόμενος να δηλητηριάσει με αέρια τα χαρακτηριστικά οδηγήστε στην κρυστάλλωση ή τη συσσώρευση σκόνης καθ'οδόν, με συνέπεια την απόφραξη της σωλήνωσης που οδηγεί στη διαρροή αερίου, και σε σοβαρές περιπτώσεις, προκαλέστε ακόμη και μια έκρηξη, δεν μπορεί να εξασφαλίσει ότι η ασφάλεια εργασίας του προσωπικού περιοχών. Επομένως, στην ανάγκη περιοχής εργασίας να διαμορφωθεί ένας μικρός εξοπλισμός επεξεργασίας αερίου εξάτμισης κατάλληλος για τα χαρακτηριστικά του αερίου διαδικασίας, προκειμένου να μειωθεί το στάσιμο αέριο εξάτμισης στην περιοχή εργασίας, για να εξασφαλίσει την ασφάλεια του προσωπικού.